鎢濺射靶材的化學成分
純鎢的牌號表示形式：W+數字；摻雜矽、鉀、鋁的摻雜鎢的則表示為：WA1+數字
化學成分取樣位置
除非產品標準另有規定，否則允許製造商在鎢、鎢合金鑄錠和粉末冶金坯上進行取樣分析。
取樣要求
化學成分取樣，應去除產品表面的油污、贓物和氧化皮等；在取樣、制樣過程中，應避免因氧化腐蝕和污染等原因而影響試樣的成分。
化學成分分析及分析報告
分析方法
鎢和鎢合金產品的化學成分分析時，允許進行第二次成分分析，並以第二次的分析結果為最終判定依據。
分析報告與數值修約
在化學成分分析報告中，分析數值的有效位元數應與化學成分表中相應界限數值的有效位數一致。數值修約按GB/T 8170的有關規定進行。
純度為99.95％的鎢濺射靶材的化學成分表如下圖所示
| 化學成分/等級 | FW-1 | |
| 鎢含量（％）≥ | 99.95 | |
| 其 它 元 素 含 量 （％） ≥ |
Fe | 0.0050 |
| Al | 0.001 | |
| Si | 0.002 | |
| Mg | 0.001 | |
| Mn | 0.001 | |
| Ni | 0.003 | |
| As | 0.0015 | |
| Pb | 0.0001 | |
| Bi | 0.0001 | |
| Sn | 0.0003 | |
| Sb | 0.0001 | |
| Cu | 0.0007 | |
| Ca | 0.002 | |
| Mo | 0.005 | |
| K+Na | 0.003 | |
| P | 0.001 | |
| C | 0.005 | |
| O | 0.2 | |
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